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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理,熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù),其典型傳感器元件包括兩個熱電阻(鉑RTD),一個是速度傳感器,一個是自動補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)這兩個RTD被置于介質(zhì)中時(shí),其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫差。另一個溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體速率增加,傳感器傳遞給價(jià)值的熱量增多,因此需要供給更多的功率,而電子單元加熱RTD的功率與質(zhì)量流量成一定的對應(yīng)關(guān)系。
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